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介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定.同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果.
“Isara400”超精密坐标测量机的设计与标定
【摘 要】
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介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定.同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果.
【机 构】
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IBS Precision Engineering
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2004年期
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