溶胶-凝胶法制备BiFeO3薄膜的结构及物性研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanjuan1980

【摘要】

：

应用溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si（001）基片上制备了BiFeO3薄膜，构架了Pt／BiFeO3／Pt电容器。采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt／BiFeO3／Pt电容器的结构和物理性能。实验发现BiFeO3最

【作者】

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李丽刘保亭张新闫小兵郭颖楠

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院

【出处】

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人工晶体学报

【发表日期】

：

2008年6期

【关键词】

：

铁酸铋薄膜溶胶-凝胶法铁电性能漏电流 BiFeO3 thin film Sol-gel method ferroelectric property

【基金项目】

：

973前期研究专项（2007CB616910）,国家自然科学基金（No.50572021,60876055）,河北省自然科学基金重点项目（E2008000620）,教育部基金项目（2005-546,207013）

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应用溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si（001）基片上制备了BiFeO3薄膜，构架了Pt／BiFeO3／Pt电容器。采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt／BiFeO3／Pt电容器的结构和物理性能。实验发现BiFeO3最佳的结晶温度为600℃，X射线衍射图谱显示BiFeO3薄膜结晶状况良好，原子力显微镜照片显示BiFeO3表面颗粒均匀。PL／BiFeO3／Pt电容器具有良好的电学性能，在驱动电压为5V的情况下，Pt／BiFeO3／Pt电容器的电滞回线具有良好的对称性，漏电流密度小于10^-4A／cm

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