【摘 要】
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三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计，能够
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三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计，能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试，测试前使用单片机将程序写入该芯片，调节其内部参数。使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。
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