【摘 要】
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指出对泡生法蓝宝石晶体生长,无需采用过高的真空度.炉内真空度达10-1Pa级时,进一步提高真空度对长晶炉热效率影响不大,较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却.研究表明,
【机 构】
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深圳大学物理科学与技术学院,深圳晶蓝地光电科技有限公司
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指出对泡生法蓝宝石晶体生长,无需采用过高的真空度.炉内真空度达10-1Pa级时,进一步提高真空度对长晶炉热效率影响不大,较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却.研究表明,尽管高真空度可以有效防止热场中钨/钼材料的氧化,但真空度过高容易导致钨钼材料的升华损耗;真空度越高,原料三氧化二铝熔体蒸发越甚,导致热场零部件污染越严重,从而缩短热场零部件的使用寿命;采用惰性气体保护可以在较低真空度下防止热场中钨钼件氧化,同时抑制熔体蒸发、保持热场洁净并延长热场使用寿命.
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