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光学镀膜仪的静态特性是高精度镀膜系统的重要因素。对典型镀膜仪的膜厚监视器的静态漂移数据，采用t检验、回归分析、方差分析、样本标准偏差和不确定度分析等方法获得其静态特性。发现不同预热时间有不同的系统静态特性；建立静态漂移的线性回归、二次回归数学模型，其线性漂移率为-5．5×10^-5，二次漂移率为5．02322×10^-8；显示值相对于期望曲线的最大偏差为±4×10^-3。该静态特性详细、稳定和精确，为镀膜经验控制、膜系修正和自动化系统开发奠定了基础。