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通过直流脉冲磁电管将来自于两个靶的多层TiAIN和AIN涂层沉积在高速钢（HSS）和硬质金属（HM）基体上。TiAl靶的能量是保持衡定的。而灿靶的能量是变化的。用扫描电镜和X-射线衍射技术对组织的形态学进行研究。灿靶的能量对涂层组织和形态会产生一定的影响。在较低的Al靶能量下生成的涂层具有B1型立方结构。随着能量的增加，六方晶体结构就会逐渐清晰。