论文部分内容阅读
<正> 现代微电子电路的生产需要非常纯净的气体和液体,其中杂质粒子的含量必须非常稀少,且其直径均在亚微米量级。理想状态是无杂质粒子存在。目前,常用薄膜过滤器来去除杂质粒子,实践表明,它具有较高的过滤效率。
工艺气体过滤器过滤介质的评价
【摘 要】
：
<正> 现代微电子电路的生产需要非常纯净的气体和液体,其中杂质粒子的含量必须非常稀少,且其直径均在亚微米量级。理想状态是无杂质粒子存在。目前,常用薄膜过滤器来去除杂质
【机 构】
：
中国计量科学研究院
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
：
1989年3期
其他文献
以计算机教学服务为；宗旨，阐述了ＮｅｔＷａｒｅ教学网络系统的结构规划、管理、使用等问题提出了ＮｅｔＷａｒｅ网络系统服务器和工作站的设计思想及实施方案介绍了ＮｅｔＷａｔｒｅ教学网在计算机系统管理中的应用。
目的探讨子宫内膜异位症(EMS)患者血清肿瘤特异性生长因子(TSGF)、糖类抗原125(CA125)水平的变化及临床意义。方法选取沈阳医学院附属中心医院2014年3-7月因EMS行手术治疗并
用相关有效场理论研究立方点阵、稀磁混自旋Ising模型的基态相性质.计算了基态相变点和基态补偿点随磁原子浓度的变化规律、给出了基态相图.
文章对分布式电源接入配电网产生的综合效益进行详细分析,然后在传统分布式电源扩展规划的概述基础上,对分布式电源的布点规划进行全面分析,最后对计及分布式电源的配电网扩