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<正> 任何一台真空镀膜设备,除了实际产品被镀膜复盖外,其内表面也将逐步蒸涂上一层物质。这种物质的积累最终达到的程度,会阻碍真空镀膜设备另部件的正常工作;或者显著降低产品的产量和质量,这时真空设备必须清洗。在现代化的企业中,大多数镀膜设备要严格按照规定的时间表来清洗。该
真空镀膜设备的实际清洗方法
【摘 要】
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<正> 任何一台真空镀膜设备,除了实际产品被镀膜复盖外,其内表面也将逐步蒸涂上一层物质。这种物质的积累最终达到的程度,会阻碍真空镀膜设备另部件的正常工作;或者显著降低
【出 处】
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光电子学技术
【发表日期】
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1983年04期
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