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文章利用线性摄动理论，对扩散调控的弹性固体表面在受到单向均匀远场应力和电场的作用下进行了研究；采用线性稳定性分析得到了临界失稳波长，得出了摄动增长率随扰动波数的变化曲线；在分析过程中，考虑了弹性应变能、表面能和静电能的共同作用。分析结果表明，表面能总是抑制表面失稳，弹性应变能促进表面失稳，而静电能有利于表面失稳。表面形态的演化是由于几种能量相互竞争导致的结果，最终趋于总自由能最小。通过机械应力和电应力调控的表面自组装可以生成周期性纳米结构，从而为纳电设备的制造提供模板。