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扫描探针显微镜（SPM）纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域，其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法。论文主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法，以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展动向。
基于SPM的纳米加工技术研究
【摘 要】
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扫描探针显微镜（SPM）纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域，其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法。论文主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法，以及机械刻蚀加工
【机 构】
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张家口职业技术学院,山东省青岛天时海洋石油装备有限公司工艺设备部
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2014年1期
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