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采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理,理论计算表明,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应.
微波等离子加热实现金属薄膜固相反应
【摘 要】
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采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理,理论计算表明,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应.
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海交通大学材料科学与工程系
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2004年6期
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