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介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统。系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。
电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究
【摘 要】
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介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统。系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。
【机 构】
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厦门大学
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2007年08期
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