【摘 要】
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依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al设计和制备30.4 nm自支撑滤光片.在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al
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依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al设计和制备30.4 nm自支撑滤光片.在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撑滤光膜,并对滤光片的表面缺陷进行了分析.通过显微镜观察,滤光膜均匀纯净,无明显针孔.Cr/Al/Cr自支撑滤光片在合肥国家间步辐射实验室进行了测量,Cr/Al/Cr厚度为5 nm/500 nm/5 nm和12.5 nm/500nm/12.5 nm的滤光片在30.4 nm波长处的透过率分别为7.6%和4.6%,透过率曲线和理论计算基本一致.用紫外分光光度计测量得滤光片在200～800 nm波长范围的透过率小于0.02%,满足使用要求.
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