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本文应用AES分析的方法,对硅/硅直接键合界面进行了研究,给出了实验结果,并对实验结果进行了分析论证。
硅／硅直接键合界面的AES分析
【摘 要】
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本文应用AES分析的方法,对硅/硅直接键合界面进行了研究,给出了实验结果,并对实验结果进行了分析论证。
【机 构】
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东南大学电子工程系,东南大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年2期
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