【摘 要】
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研究了铬膜和铌膜的复合对锆合金基体上制备的直流磁控溅射薄膜附着性的影响.使用扫描电镜(SEM)观察了膜层界面,用原子力显微镜(AFM)观察了膜层表面,用划痕法测定了薄膜的附
【机 构】
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四川大学,四川大学,中国核动力研究设计院
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研究了铬膜和铌膜的复合对锆合金基体上制备的直流磁控溅射薄膜附着性的影响.使用扫描电镜(SEM)观察了膜层界面,用原子力显微镜(AFM)观察了膜层表面,用划痕法测定了薄膜的附着性.结果表明:膜/基界面结合良好,界面成分升降区狭窄;铬膜与铌膜组成的复合薄膜结合紧密;铬膜的组织为致密、边界孔洞少的纤维状晶粒,铬膜厚度为2 μm时,晶粒仍为亚微米级,但晶粒顶面已出现拱形;膜厚同为2μm时,外层1μm铌膜+内层1 μm铬膜组成的复合膜的附着性分别是外层1 μm铬膜+内层1μm铌膜组成的复合膜的2.35倍、2 μm铬
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