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应用衍生气相色谱法测定含氟稀土精矿焙烧逸出气体中的氟化物。焙烧逸出气体经过NaOH溶液吸收,三甲基氯硅烷衍生气化,生成气态氟硅烷（TMFS）,在气相色谱仪中利用氢火焰离子化检测器（FID）检测,以峰高外标法测定其氟含量。实验表明,在500μg/mL范围内,FID检测器的响应值与TMFS的浓度成正比,其相关系数r=0.99941;且在合理选择吸收气体流量的前提下,测量的相对标准偏差（RSD）为1.43%,加标回收率在96.9%~103.3%之间,其RSD为2.75%,具有较高的精密度和准确度。此法也可用于稀