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分析了ＹＡＧ调Ｑ激光陶瓷基板划片机理，提出了较完善的整机总体设计方案，解决了百瓦级百瓦级ＹＡＧ激光的声光调Ｑ、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术、整机达到了预定指标和实用效果。
YAG调Q激光陶瓷基板划片机
【摘 要】
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分析了ＹＡＧ调Ｑ激光陶瓷基板划片机理，提出了较完善的整机总体设计方案，解决了百瓦级百瓦级ＹＡＧ激光的声光调Ｑ、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术、整机达到了预定指标和
【机 构】
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上海市激光技术研究所,200233
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1998年6期
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