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本文通过对还原尾气冷凝液中HEC（低沸物）、DCS（二氯二氢硅）、TCS（三氯氢硅）、STC（四氯化硅）浓度之间的相关性分析,可得HEC与DCS、TCS存在显著正相关,确定未知物HEC为一氯三氢硅;DCS、TCS与STC之间存在显著负相关;DCS、TCS之间存在显著正相关.因此,在进行工艺控制过程中,需要综合考虑各物质的含量,找到三者的最佳平衡浓度,进行生产控制.