【摘 要】
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以氮化铝、钼为原料,CaF2为烧结助剂,在氮气气氛下,采用无压烧结方式制备了致密度高于98%的AlN/Mo复合微波衰减陶瓷.采用XRD,FESEM,网络分析仪及激光导热仪对样品的微观结构
【机 构】
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北京有色金属研究总院先进电子材料研究所
【基金项目】
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北京有色金属研究总院创新技术基金
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以氮化铝、钼为原料,CaF2为烧结助剂,在氮气气氛下,采用无压烧结方式制备了致密度高于98%的AlN/Mo复合微波衰减陶瓷.采用XRD,FESEM,网络分析仪及激光导热仪对样品的微观结构、介电性能及热导率进行测试分析.结果表明:样品的致密度随着Mo含量的增加逐渐增大.电阻率的变化符合渗流理论,渗流阈值在Mo含量为23%附近.介电常数和介电损耗均随着Mo含量的增加而增加.复合陶瓷的热导率受致密度和Mo含量两个因素的影响,当致密度低于某临界值时,热导率随着致密度的增加而增加;当致密度超过临界值后,复合陶瓷的热导率主要受Mo含量的影响,随着Mo含量的增加,热导率逐渐减小.在烧结温度为1720 ℃时,Mo含量为5%的复合陶瓷的热导率为114.6 W·m-1·K-1.分析了复合陶瓷的显微结构与导热理论.
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