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采用直流磁控反应溅射技术,在不同的Ar/O2比条件下制备了系列Ta2O5薄膜样品,采用紫外-可见光透射光谱和椭偏光谱测试分析技术,研究了Ta2O5薄膜在可见光范围内的透射率、折射率和消光系数；同时还采用HP 4192A阻抗分析仪测试分析了样品在500Hz～13MHz频段的介电谱,结果表明在300～700nm的可见光波长范围内,氧化钽薄膜的消光系数k→0,折射率n＞2.0,透射率大约80％。500Hz下的低频介电常数ε的典型值为20.1.损耗角正切tgδ为19.9.