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随着国内半导体设备行业技术的迅速发展,对回转构件的平衡精度要求越来越高,尤其在硅加工行业中表现尤为突出,针对半导体设备的平衡精度要求,系统阐述了机械平衡的重要性,工程设计中平衡精度选择方式,刚性回转构件的平衡计算以及在实践中对一般、特殊转子的动静平衡方法.
半导体设备回转构件平衡技术分析
【摘 要】
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随着国内半导体设备行业技术的迅速发展,对回转构件的平衡精度要求越来越高,尤其在硅加工行业中表现尤为突出,针对半导体设备的平衡精度要求,系统阐述了机械平衡的重要性,工
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年2期
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