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在回顾微型阀发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上，提出一种聚酰亚胺微型被动阀，分析聚酰亚胺的材料性能，设计微型阀结构和加工工艺流程，成功地制造出聚酰亚胺微型阀，测试该阀性能，讨论加工过程中的一些关键工艺。
聚酰亚胺微型阀及其加工工艺
【摘 要】
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在回顾微型阀发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上，提出一种聚酰亚胺微型被动阀，分析聚酰亚胺的材料性能，设计微型阀结构和加工工艺流程，成功地制造出聚酰亚胺微
【机 构】
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清华大学,100084
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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“九五”国防科技预研资助!8.7.2．1
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