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介绍了一种自行研究应用双光纤光栅作为传感元件的加速度传感器制作方案,在理论上论证了使用双光纤光栅对加速度的测量具有不受温度影响和增加灵敏度的优点。同时,分析了化学蚀刻在Si晶体上制作光纤光栅加速度传感器的具体工作过程,以及残余应力对传感器的影响。
化学蚀刻在光纤光栅低频微振加速度传感器中的应用
【摘 要】
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介绍了一种自行研究应用双光纤光栅作为传感元件的加速度传感器制作方案,在理论上论证了使用双光纤光栅对加速度的测量具有不受温度影响和增加灵敏度的优点。同时,分析了化学蚀刻在Si晶体上制作光纤光栅加速度传感器的具体工作过程,以及残余应力对传感器的影响。
【机 构】
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三门第二高级中学
【出 处】
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燕山大学学报
【发表日期】
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2004年04期
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