【摘 要】
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物理气相沉积涂层质量指标主要通过涂层与基体结合强度来评定，因此，结合力决定了涂层是否可用。镀层的结合力强度既取决于膜／基界面的物理和化学相互作用，同时也取决于界面区的微
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物理气相沉积涂层质量指标主要通过涂层与基体结合强度来评定，因此，结合力决定了涂层是否可用。镀层的结合力强度既取决于膜／基界面的物理和化学相互作用，同时也取决于界面区的微观结构。本文阐述了薄膜中残余应力形成的原因，并分析了其引起的机理。综述了中间层Ti薄膜，梯度镀层及渗氮层与基体界面结合力的关系，从而提高界面结合强度。为合理设计PVD新型涂层提供依据。
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