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对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能.理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义.
圆筒形反应器粉体纯化动力学分析
【摘 要】
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对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能.理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都
【机 构】
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广西工学院电子信息与控制工程系,华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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广西工学院学报
【发表日期】
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2005年4期
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