【摘 要】
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锥型滤波小孔零件是神光-Ⅲ空间滤波器中重要的滤波元件，其加工质量直接影响主激光的滤波效果。该零件为精密细长锥孔结构，孔径与孔深比达1：25、小端口径小于Ф2mm、同轴度要求
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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锥型滤波小孔零件是神光-Ⅲ空间滤波器中重要的滤波元件，其加工质量直接影响主激光的滤波效果。该零件为精密细长锥孔结构，孔径与孔深比达1：25、小端口径小于Ф2mm、同轴度要求小于Ф0．005mm、光洁度小于Ra0．2μm。文章基于延伸和复用基准减小误差的加工思路、采用慢走丝切割锥孔的工艺方法，优化工艺路线、装夹方法和工艺参数，实现零件同轴度优于Ф0．004mm、光洁度优于Ra0．1μm。该工艺方法加工质量稳定、生产效率高，满足该重大光学工程项目对精密锥孔类零件多规格、小批量的应用需求。
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