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引言声表面波（SAW）是一种能量集中在固体浅表面传播的弹性波。由于声表面波在介质表面进行换能和传播,所以信息的注入、提取、处理都可以方便地实现。目前声表面波器件主要应用在滤波器、延迟线、振荡器、触摸屏等方面,其中移动通信中的滤波器应用最广泛。基于声表面波技术的传感器也被较广泛的新究。随着信息技术特别是射频识别技术的发展,SAW标签成为声表面波领域的另一个研究热点。