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针对几种常见的非接触式测量方法的不足,提出基于锥光全息原理的非接触式测量方法,并设计系统结构,搭建实验平台来验证系统重复性等特性指标,实验结果证明系统重复性强。对测量系统的误差来源进行分析,并按照不确定度的合成原则,对系统的标准不确定度和扩展不确定度进行合成,得到系统的扩展不确定度为2.0μm。