一种新型智能积分仪—剂量处理器

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：moniter2001

【摘要】

：

随着大规模集成电路的发展,离子注入机已成为半导体工业中必不可少的设备,其自动化程度的要求越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力,它可提高注入机的自动化水平,减少人为因素,提高工艺重复性,以及改善操作人员的劳动条件等。人们希望对注入机重复性起着重要作用的部件——积分仪不仅能测量范围宽、精度高,而且能直接预置注入

【作者】

：

周琪

【机构】

：

长沙半导体工艺设备研究所

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

1990年04期

【关键词】

：

智能积分仪剂量处理器离子注入机

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