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本文采用 rfPCVD 方法,以甲苯为工作气体,制备出 DLC 膜,研究了它的光学性能,以及作为激光窗口材料 Ge 片的减反射膜的应用。
DLC膜作为Ge片减反射膜的研究
【摘 要】
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本文采用 rfPCVD 方法,以甲苯为工作气体,制备出 DLC 膜,研究了它的光学性能,以及作为激光窗口材料 Ge 片的减反射膜的应用。
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系,合肥工业大学应用物理系合肥,合肥
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1991年5期
【基金项目】
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机电部机械工业技术发展基金项目,编号:86J7720
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