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1975年首次演示稀有气体卤化物准分子激光器以来，这种激光器已被热情地誉为新一代紫外激光器,一次紫外革命,是气体激光器的一匹新骏马。与以前发展的激光器相比较，由于设计上与其他放电激光器基本相同以及明显的商业应用潜力，准分子激光技术已取得惊人的进展。自从放电准分子激光器问世以来的五年中，实验演示已达到了焦耳级脉冲能量,平均输出功率为860瓦。