垂直电极结构GaN基发光二极管的研制

来源 :第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：akhiv

【摘要】

：

利用激光剥离技术(LLO)和晶片键和技术将GaN基发光二极管(LED)薄膜与蓝宝石衬底分离并转移到Si衬底上,高分辨X射线衍射(HRXRD)和阴极荧光谱(CL)结果表明激光剥离过程没有影响GaN量子阱的结构和光学性质,GaN和InGaN/GaN多量子阱的发光峰都呈现红移,这都来源于去除蓝宝石后薄膜中应力的释放.采用金属In和Pd的和合金化键和过程解决了GaN材料与Si衬底的结合,结合逐个芯片剥离和

【作者】

：

康香宁包魁陈志忠徐科章蓓于彤军聂瑞娟张国义

【机构】

：

北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学宽禁带半导体研究中心北京,100871

【出处】

：

第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

【发表日期】

：

2006年11期

【关键词】

：

氮化镓发光二极管激光剥离金属合金键和垂直电极 GaN量子阱光学性质

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