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通过采用预氧化、氮势控制、扩散期通入高纯氮气以及退氮处理等多种手段,在保证渗氮层质量的前提下缩短了气体渗氮的周期,由原来的50小时降低到35小时左右。
快速气体渗氮工艺
【摘 要】
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通过采用预氧化、氮势控制、扩散期通入高纯氮气以及退氮处理等多种手段,在保证渗氮层质量的前提下缩短了气体渗氮的周期,由原来的50小时降低到35小时左右。
【机 构】
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辽宁工学院材料与化学工程学院
【出 处】
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辽宁工学院学报
【发表日期】
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2002年06期
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