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用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法成功地合成了ＴｉＯ２纳米粉末和薄膜，研究了工艺参数如热处理温度，保温时间等因素对材料结构和物性的影响，粉末的平均粒径为３－１００ｎｍ，比表面积为１７－２５１ｍ＾２／ｇ，其在室温至７５０℃之间经历无定形态－－锐钛矿－锐钛矿与金红石共存－－金红石的相变，以石英玻璃和单晶硅为基片，采用均胶法获得沿（１０１）择优取向的金红石薄膜，研究表明，薄膜经锐钛矿转变为金红石的转变温度固基片不同而异