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,Fabrication of a Polymer Micro Needle Array by Mask-Dragging X-Ray Lithography and Alignment X-Ray
【机 构】
：
Institute of Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication Technology of Ministry of Education,
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
：
2011年3期
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