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采用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金衬底上制备常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜，在往复式球-盘摩擦磨损试验机上考察金刚石薄膜在干摩擦和水润滑条件下的摩擦磨损性能，分别采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪和能谱仪分析金刚石薄膜的表面形貌特性、结构特征及其摩擦表面残余物质的组成．结果表明，常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜在水润滑下的摩擦系数分别约为0．25和0．22，超细晶粒金刚石薄膜对偶件的磨损率仅为6．94×10^-6mm^3／（Nm），显示出优异的减摩性能，可作为良好的水润滑摩擦副涂层材料．