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综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol Gel等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。
薄膜制备新技术及其应用研究
【摘 要】
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综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol Gel等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。
【机 构】
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武汉化工学院材料科学与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年05期
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