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钽掺杂的Liao基厚膜电阻导电相和玻璃相颗粒尺寸效应的研究
钽掺杂的Liao基厚膜电阻导电相和玻璃相颗粒尺寸效应的研究
来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linjinlong19880927
【摘 要】
:
本文报道了钽掺杂Liao基厚膜电阻制备过程中导电相和玻璃相颗粒尺寸效应的实验研究结果,当导电相和玻璃相颗粒尺雨分别达到25和50nm时,电阻阻值和电阻温度系数也随之发生显著变化,并尝试根
【作 者】
:
巨新
杨建红
【机 构】
:
中国科技大学近代物理系,华东微电子研究所,中国科学院高能物理研究所
【出 处】
:
电子科学学刊
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
Liao基厚膜电阻
颗粒尺寸效应
混合集成电路
Ru-base thick film resistor
Particle size effect
Condu
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本文报道了钽掺杂Liao基厚膜电阻制备过程中导电相和玻璃相颗粒尺寸效应的实验研究结果,当导电相和玻璃相颗粒尺雨分别达到25和50nm时,电阻阻值和电阻温度系数也随之发生显著变化,并尝试根据厚膜电阻导电机理对其产生的原因进行定性的分析。
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