【摘 要】
：
f-θ透镜是激光标刻系统中最为重要的组成部分,它的性能将直接影响标刻机的标刻精度。设计的f-θ透镜波长为0.65μm的单色光,设计时引入负的桶形畸变,校正系统的场曲,使匹兹
【机 构】
：
长春理工大学光电信息学院光电工程分院,中国电子科技集团公司光电研究院
论文部分内容阅读
f-θ透镜是激光标刻系统中最为重要的组成部分,它的性能将直接影响标刻机的标刻精度。设计的f-θ透镜波长为0.65μm的单色光,设计时引入负的桶形畸变,校正系统的场曲,使匹兹伐尔场曲为零,轴外和轴上像质一致,整个像面成平面,且系统波像差小于λ4。把入瞳放置在物方焦点处,形成像方远心光路,主光线通过f-θ透镜后平行于光轴射出,主光线在像面上的交点高度不变,描过程实现线性扫描,从而保障扫描精度。通过初级像差分析和已有的光学镜头库,确定f-θ透镜的初始结构参量,然后利用ZEMAX软件进行优化设计,得到由四片普通球面透镜构成的系统,该系统结构紧凑、焦距小,聚焦性能接近衍射极限,并且像面照度分布均匀、能量集中且相对畸变小,满足标刻要求。
其他文献
掘进巷道施工作业的安全高效是对矿井生产采掘衔接问题有效处置的关键前提。以此为着手点,针对掘进巷道水仓施工及支护优化开展分析探究。结合具体工程实际,在分析原水仓掘进
原发性高血压病,是一种常见心血管疾病。因高血压所致的致心、脑、靶器官损害,进而引起脑卒中、冠心病及心、肾衰竭等,具有的致残率和致死率,严重威胁着人类的健康和生活质量
改革开放以来经济的发展,中华民族传统的文化也走上了复兴道路,民族对自身文化的认同感增强,在园林设计上人民对传统文化的认同感逐步增强,在园林设计上需要注入现代元素,也
目的探讨在ICU急性心肌梗死患者中应用综合护理的效果及对满意度的影响。方法将ICU中60例急性心肌梗死患者(2017年1月到2019年5月间)用计算机实施随机分组,分为基础组(n=30,
在《资本论》、《剩余价值理论》以及1857—1858年经济学手稿中，马克思以世界历史为背景，全面研究了东西方所有权关系的形成、演变和发展过程，分析了不同历史时期所有权关系的具
美国刑法中的谋杀罪是一个含义丰富的概念，而不是简单的“故意杀人”。谋杀罪的理论不是单纯的刑法理论，它吸收了很多学科的理论知识，尤其是医学方面的知识。为了对谋杀罪进行正
<正>血液病病人由于免疫功能低下,加之化疗、放疗、激素及免疫抑制剂等的使用,使其免疫力进一步下降,是医院感染的高发人群。常见的感染部位有呼吸道、口腔、肛周、肠道、皮
电力作为一种能源形式,从诞生伊始,就引领了能源与工业的革命,并完全改变了人们以往的生活、工作方式。电力系统是一个由发电、输电、配电、用电等环节构成的电力生产、输送
常玉,民国时期的华裔艺术家,不能轻视的是,他在中西文化的碰撞中形成的独特风格对中国美术的现代性有着极大的意义,他独具风格的造型语言对中国美术的现代性具有很强的个案研