论文部分内容阅读
以某微电子工程真空系统为例，对其漏油故障进行分析，并给出检修思路和故障排除方法。
真空系统漏油情况的系统分析
【摘 要】
：
以某微电子工程真空系统为例，对其漏油故障进行分析，并给出检修思路和故障排除方法。
【机 构】
：
江苏苏净科技有限公司
【出 处】
：
洁净与空调技术
【发表日期】
：
2009年1期
其他文献
齐齐哈尔大学国际文化教育中心工程外墙采用聚氨酯硬泡与胶粉聚苯颗粒保温浆料作为复合保温墙体的全新施工工艺，利用聚氨酯硬泡良好的粘结强度、优异的保温和防水性能，极大地提
从室内空气品质（IAQ）和健康舒适性的基本关系入手，阐述了健康舒适性空调器应具备的条件，并在总结当前健康舒适性空调器改进方法的基础上，提出了健康舒适性空调器的发展新思路。
我国墙材革新和节能建筑推广工作虽已有20多年，但墙材革新的任务远没有完成，“禁实”目标的实现仅仅是阶段任务告一段落，墙材革新的工作任重而道远。指出墙材革新的任务，一方面是
从洁净血液病房的平面设计出发，阐述了洁净血液病房的基本配备概况，以北京某三甲医院洁净血液病房为例，阐述不同平面设计方案特点。
主要对制药企业的生产厂房中的气闸房间与其他房间的压力高低进行分析，并对相对压力控制进行探讨，从而澄清一些问题。
以矿渣基无机矿物聚合材料的抗压强度为考核指标，在不同原材料配比情况下研究了养护温度、养护时间和养护湿度对其力学性能的影响。结果表明，选取养护温度为80℃，养护时间为10h，
通过对某室内干球温度24℃±1℃，相对湿度（4±4）％的干燥间的参数计算与设备选型，阐述了对于室内低湿工况环境的某种设计思路。
对三级生物安全实验室上、下两种排风方式的特点进行了研究。将实验与数值模拟相结合，根据实验数据修正数学模型，利用Fluent软件进行计算，重点对空气龄、换气效率、自净时间等评