热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang1224
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出在热丝辅助MWECR-CVD系统制备非晶硅薄膜过程中,热丝的光照对薄膜的抗衰退起到了关键作用,用该系统制备非晶硅薄膜,大大降低了薄膜中的总氢含量,提高了薄膜的稳定性,同时,Si-H键合体的摇摆模发生了红移.
其他文献
Propylene is one of the most important basic organic products. The traditional method for producing propylene cannot satisfy the faster-growing demand for it. T
在室温下分别测量了LaNi5、LaNi5D0.3和LaNi5D6.7的中子衍射谱,采用Rietveld峰形精修方法对实验数据进行拟合,得到它们的晶体结构及氘原子在晶胞中的位置.
利用分离式霍普金森压杆(SHPB)装置对无压浸渗制备的Si3N4/Al-AlN复合材料进行不同应变速率下的动态压缩实验,并与准静态压缩实验相比较;利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分
用聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)和偶氮染料DR1以一定的比例混合 ,制成各向同性均匀薄膜样品。用经斩波器调制的线偏振氩离子激光 (5 14nm ,CW )作用样品产生光致双折射。作为探测
以焦脱镁叶绿酸 a甲酯 (MPP a)为起始原料 ,通过E环羰基与盐酸羟胺反应 ,生成Z/E顺反结构的焦脱镁叶绿酸 a甲酯酮肟异构体 ,分离后与酰卤和卤代烷反应 ,分别生成Z或者E型O
应用表面增强拉曼散射(SERS)技术,对液晶5CB分子在银、金纳米粗糙电极表面的取向进行研究.结果表明液晶5CB分子在银、金电极表面具有不同的取向,揭示了液晶5CB分子与银和金的
通过文献资料法、调查法等方法,对海外客家移民的形成及其分布状况探讨,并剖析了他们在居住国的社会、经济等发展中所起的重要作用.同时分析了中华体育文化的形成及特征.在此
随着我国经济的不断发展,我国的适龄儿童入学接受初级、中级教育的人数也与日俱增,现在许多地区都在加紧小学的建设与发展,对于小学班集体的管理工作,越来越受到教育界的广泛关注
报道了应用φ100 mm和φ200mm两种芯径光纤作为相位共轭镜时,四通放大主振荡功率放大器(MOPA)系统的SBS能量反射率、稳定性、保真度、输出能量等性能参量的变化趋势.应用φ10
用激光脉冲沉积(PLD)法在MgO(001)衬底上成功地生长、制备出了外延铌酸锶钡钠(SCNN)电光薄膜.对生长制备出的SCNN电光薄膜用X射线衍射对其微观结构进行了测量研究;X射线衍射
期刊