纳米氮化硅粉体材料的ICP制备技术及TEM分析

来源 :山东陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户：missyouwqq

【摘要】

：

用硅烷和氮气为反应气体,采用ICP等离子体化学气相沉积技术合成氮化硅纳米粉体.用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率下等离子体密度的变化规律,

【作者】

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赵文锋陈俊芳宋淑然许利霞薛秀云

【机构】

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华南农业大学工程学院,华南师范大学物理与电信工程学院

【出处】

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山东陶瓷

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

ICP 氮化硅纳米粉 ICP Si_3N_4 Nanopowder

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用硅烷和氮气为反应气体,采用ICP等离子体化学气相沉积技术合成氮化硅纳米粉体.用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用TEM分析了纳米氮化硅的显微形貌,结果表明:纳米氮化硅粉体颗粒为球形,分布于20～40nm.

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