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研制单位：北京中电科电子装备有限公司产品介绍：晶圆减薄技术是一种半导体封装工艺，是先进封装发展方向。晶圆减薄机设备是一种集机械、电气控制、软件、水路、气路、材料以及真空等多学科交叉的高科技产品，研发难度非常大，国内在该领域关键技术研究基础薄。从2009年开始，
10产品名称：200mm（8英寸）晶圆减薄机
【摘 要】
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研制单位：北京中电科电子装备有限公司产品介绍：晶圆减薄技术是一种半导体封装工艺，是先进封装发展方向。晶圆减薄机设备是一种集机械、电气控制、软件、水路、气路、材料以及真
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年2期
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