【摘 要】
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据日刊《工业新闻》报道,日本日立公司最近在世界上首次成功地研制出一种“光子显微镜”,其原理是让光点在半导体芯片表面扫描,由于芯片的表面晶格缺陷、污染及损伤部位受光
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据日刊《工业新闻》报道,日本日立公司最近在世界上首次成功地研制出一种“光子显微镜”,其原理是让光点在半导体芯片表面扫描,由于芯片的表面晶格缺陷、污染及损伤部位受光照射时产生的表面光电压低于正常部位,故可以非接触形式读出其变化,然后经数字
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