【摘 要】
：
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝化效应一次性腐蚀出与衬底绝缘,由约4μm厚的金电极支撑,厚度约为235 nm的亚微米梁结构,具有制作简单、成品率高、成本低等特点,应用前景广阔。
其他文献
粉状料库均化和卸料时都要用空气连续充气，由于粉尘浓度大，对信号干扰大，用非接触性料位计很难获得可靠的料位。用人工放缆绳到料位表面测量费时费力，且仅提供间接读数，生产过程的
人口自由度是经济增长活力的晴雨表。人口红利在很大程度上是人口流迁所创造和贡献的。人口的活力来自人口的流迁,人口过剩问题随之化解,而人口融合问题随之产生。
【据《Intern Med J》2017年7月报道】题：2型糖尿病患者中非酒精性脂肪肝与外周动脉疾病的关系（作者Zou Y等）非酒精性脂肪肝与冠心病危险性相关,然而2型糖尿病患者中非酒精性脂
广惠高速公路西枝江大桥引桥双圆柱式盖梁长12.5m、高1.2m、宽1.3m,柱φ90cm,柱高为8~12m.结合盖梁施工实践,介绍了双圆柱式盖梁钢抱箍支架的结构形式及施工.
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
在高中生物学教学和学习过程中应以实验为主,使学生能够在学习过程中更加深刻地了解所学知识。在此基础上,阐述了新课程背景下开展高中生物实验教学的模式。
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
随着质谱技术的发展,蛋白质组学在林业学科中得到了极大的发展,差异蛋白质组学已经成为目前林业学科的研究热点之一。通过对国内外植物蛋白质组学在林业学科逆境胁迫中的相关
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技