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充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法。
高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨
【摘 要】
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充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上
【机 构】
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光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2007年02期
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