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介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.
直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F2的简易求法
【摘 要】
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介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.
【机 构】
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中国上海测试中心上海市测试技术研究所,中国上海测试中心上海市测试技术研究所上海200233,上海200233,上海200233
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1993年4期
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