摘要:采用一种由步进电机和压电陶瓷构成的宏微二级位置控制系统,设计了基于L298N的步进电机驱动电源和基于PA69的压电陶瓷驱动电源,电路简单实用,达到了扫描电化学显微镜对探针定位的要求。 关键词:SECM;宏微定位;驱动电路 引言 扫描电化学显微镜(SECM)是80年代发展起来的一种电化学现场检测新技术。该技术驱动非常小的电极(探针)在靠近样品处进行扫描,样品可以是金属、半导体、高
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