【摘 要】
：
与微米金刚石薄膜不同,纳米金刚石薄膜表面平滑。因此,在摩擦学应用领域中,纳米金刚石薄膜是最理想的。本研究利用CH4/H2微波等离子体CVD工艺在纯钛上沉积出纳米金刚石薄膜和
论文部分内容阅读
与微米金刚石薄膜不同,纳米金刚石薄膜表面平滑。因此,在摩擦学应用领域中,纳米金刚石薄膜是最理想的。本研究利用CH4/H2微波等离子体CVD工艺在纯钛上沉积出纳米金刚石薄膜和微米金刚石薄膜。采用的沉积条件为:沉积温度约为1173K;沉积压力为8.0kPa;CH4浓度在0.5 m o l%和5 m o l%之间变化;沉积时间则从4h到12h不等。金刚石薄膜表面用扫描电镜(SEM)观察。在激光拉曼光谱中,微米金刚石薄膜在1332cm-1处有sp3键碳的锐峰。1140cm-1附近的光谱带与纳米金刚石薄膜的特征有关。并用X射线衍射对金刚石薄膜进行了分析。X射线衍射花样证实,纳米金刚石薄膜存在(111)面和(220)面。金刚石薄膜的表面粗糙度随着CH4浓度的增加而减小。但是,甲烷浓度在2 m o l%与5 m o l%之间变化时,金刚石薄膜的表面粗糙度接近50nm。据证实,CH4浓度在2 m o l%和5 m o l%之间,利用CH4/H2微波等离子体CVD工艺可以沉积出纳米金刚石薄膜。
其他文献
借助活体观察和银染法对6种淡水纤毛虫（纵长板壳虫Coleps elongatus、瓜形原膜袋虫Protocyclidium citrullus、亨氏累枝虫Epistylis hentscheli、钟形钟虫Vorticella campanul
使用归纳过程说明算法的演化 ,建立了一阶语言语句集和算法的关系 ,并提出了启发式的归纳规则 .还提出了算法分析的概率式研究方法 .这种方法为有效算法的设计和自动算法设计
目的 :探讨使用切开复位克氏针内固定术对跟骨骨折患者进行治疗的临床效果。方法 :对2012年6月~2013年6月期间我院骨科收治的30例跟骨骨折患者的临床资料进行回顾性研究。我
介绍了安家岭露天煤矿选煤厂在工艺、设备、系统、供配电、控制、建筑结构等各方面的突出特点
在RFID系统中,一个很重要的指标就是读写距离,影响读写距离的重要参数则是读写器天线和标签天线的设计。天线设计是RFID无线射频识别系统设计的关键部分,设计出合适的天线是
《中央企业全面风险管理指引》的出台及中央企业领导人员考核体系中对风险管理的引入,极大地提高了企业对风险管理的重视程度。本文在对国外几个影响较大的企业风险管理框架
本文在充分阐述组织文化、管理哲学和组织制度创新等概念基础上,采用文献综合方法构建组织文化创新概念模型;最后基于模型的理论脉络分析了在不同组织文化状态下制度创新的路
由于功能增加、性能调优、错误修复等原因,软件常常动态演化.现有测试技术难以满足软件演化过程中变化的测试需求,因此需要系统的测试用例演化技术,以有效保障演化软件的质量