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镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应
镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应
来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tan123456654
【摘 要】
:
对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究。理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主
【作 者】
:
祝沛
沈卫星
陈卫华
张伟
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
薄膜
水致应力
面形
时间效应
湿度效应
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对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究。理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势,发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应。
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